8月3日晚間微導(dǎo)納米(688147)公告，公司擬向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)債，募集資金總額不超過11.7億元（含11.7億元），扣除發(fā)行費(fèi)用后，將全部投資于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備智能化工廠建設(shè)項(xiàng)目、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室擴(kuò)建項(xiàng)目及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

微導(dǎo)納米是一家面向全球的半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體高端微納裝備制造商。公司形成了以ALD技術(shù)為核心，CVD等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展的產(chǎn)品體系，專注于先進(jìn)微米級(jí)、納米級(jí)薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，向下游客戶提供尖端薄膜沉積設(shè)備、配套產(chǎn)品及服務(wù)。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)，該公司是國內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型High-k原子層沉積設(shè)備應(yīng)用于集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備廠商，是國內(nèi)首批成功開發(fā)并進(jìn)入產(chǎn)業(yè)鏈核心廠商量產(chǎn)線的硬掩膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD）國產(chǎn)廠商，也是行業(yè)內(nèi)率先為新型存儲(chǔ)提供薄膜沉積技術(shù)支持的設(shè)備廠商之一。

據(jù)披露，此番微導(dǎo)納米擬使用本次募集資金6.43億元，用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備智能化工廠建設(shè)項(xiàng)目。項(xiàng)目實(shí)施地址位于江蘇省無錫市新吳區(qū)內(nèi)，投資總額為6.7億元，擬計(jì)劃建設(shè)先進(jìn)的生產(chǎn)車間，購置先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備和量測設(shè)備，提升公司薄膜沉積設(shè)備的生產(chǎn)能力，建成后達(dá)產(chǎn)年的預(yù)計(jì)銷售收入為15.65億元。

薄膜沉積設(shè)備作為半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備，其性能和技術(shù)水平直接關(guān)系到芯片的質(zhì)量和性能。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體市場的不斷擴(kuò)大，對(duì)薄膜沉積設(shè)備的需求也在持續(xù)增長。然而，目前我國在高端薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域基本依賴進(jìn)口，這不僅增加了生產(chǎn)成本，也制約了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的供應(yīng)鏈安全。

微導(dǎo)納米表示，公司致力于薄膜沉積設(shè)備研究，經(jīng)過多年發(fā)展，形成了以原子層沉積（ALD）技術(shù)為核心，化學(xué)氣相沉積（CVD）等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展的產(chǎn)品體系，覆蓋多類工藝技術(shù)和產(chǎn)品類別。目前，公司產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋邏輯、存儲(chǔ)、硅基OLED和第三代半導(dǎo)體等領(lǐng)域。近年來，受下游市場需求增長影響，公司規(guī)模迅速擴(kuò)張，銷量增長迅速，公司半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備銷售額由2021的0.25億元增長到2024年的3.32億元，CAGR為136.21%。截至2024年末，公司半導(dǎo)體領(lǐng)域在手訂單量為15.05億元，現(xiàn)有的生產(chǎn)能力難以支撐公司在業(yè)務(wù)規(guī)模上的擴(kuò)張，為了保證公司的產(chǎn)品交付質(zhì)量及交付能力，公司急需擴(kuò)建新的生產(chǎn)場地。

本項(xiàng)目將引進(jìn)先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備和驗(yàn)證檢測設(shè)備，在增加公司產(chǎn)能的同時(shí)，進(jìn)一步提高質(zhì)控能力，保障高效穩(wěn)定的交付水準(zhǔn)；此外，本項(xiàng)目還將搭建覆蓋生產(chǎn)全流程的智能管理系統(tǒng)，提升公司生產(chǎn)效率和運(yùn)營效率，以最大化釋放公司產(chǎn)能。因此，本項(xiàng)目的建設(shè)是公司實(shí)現(xiàn)戰(zhàn)略發(fā)展目標(biāo)、提升綜合競爭力的重要舉措。